微機電系統的組成材料

時間：2016-09-28作者：雅馳實業（上海）有限公司瀏覽：69

微機電系統(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System)，即微電子機械系統、微系統、微機械等，微電子機械系統(MEMS)技術是建立在微米/納米技術（micro/nanotechnology）基礎上的21世紀前沿技術，是指對微米/納米材料進行設計、加工、制造、測量和控制的技術。它可將機械構件、光學系統、驅動部件、電控系統集成為一個整體單元的微型系統。這種微電子機械系統不僅能夠采集、處理與發送信息或指令，還能夠按照所獲取的信息自主地或根據外部的指令采取行動。它用微電子技術和微加工技術(包括硅體微加工、硅表面微加工、LIGA和晶片鍵合等技術)相結合的制造工藝，制造出各種性能優異、價格低廉、微型化的傳感器、執行器、驅動器和微系統。 微電子機械系統（MEMS）是近年來發展起來的一種新型多學科交叉的技術，該技術將對未來人類生活產生革命性的影響。它的學科面涵蓋微尺度下的力、電、光、磁、聲、表面等物理、化學、機械學的各分支。
 
按其性質可分為結構材料、功能材料和智能材料。
（一）	結構材料
具有一定機械強度，用于構造機械器件基本結構的材料。結構材料可以是單一材料，也可以是材料組合體。
（二）	功能材料
壓電材料、光敏材料、形狀記憶材料、磁性材料等具有特定功能的材料?？梢允菃我徊牧希部梢允菑秃喜牧?。
（三）	智能材料
一般具有傳感、致動和控制等方面的基本功能，能模仿人類或生物的基本特定行為，能對外界信息具有反應，對信息激勵有自適應的能力。常用的智能材料有形狀記憶合金、電致伸縮材料、導電聚合材料、電流變和磁流變材料、儲氫材料等。
（四）	多功能材料
微材料是多功能的 ，例如，在微機械中用的很多的硅晶體，因它有較好的強度和力學性能，是一種較好的結構材料；它又同時具有良好的多種傳感性能，如光電效應、光電子效應、熱阻效應、磁阻效應等，因此又是一種很好的功能材料

雅馳實業的微機電系統是集微傳感器、微執行器、微機械結構、微電源微能源、信號處理和控制電路、高性能電子集成器件、接口、通信等于一體的微型器件或系統。MEMS側重于超精密機械加工，涉及微電子、材料、力學、化學、機械學諸多學科領域。

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